中吉國際項目管理 對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2024-01-03在 公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:無掩模光刻機（進口設備）具體內容詳見招標文件資金到位或資金來源落實情況:已到位，銀行貸款項目，已落實項目已具備招標條件的說明:已具備2、招標內容招標項目編號:2125-244zjgjg0103招標項目名稱: 吉林師范大學重大設備貸款項目（十二）（三次）項目實施地點:中國吉林省招標產品列表(主要設備):

序號	產品名稱	數量	簡要技術規格	備注
1	無掩模光刻機（進口設備）	1套	1、配備405nm激光光源，功率不小于3mW，壽命長于10000小時； *2、最小分辨率不低于300nm,至少支持300nm、600nm、900nm光學分辨率，要求軟件直接控制各分辨率模塊的切換； 3、配備650nm波長紅外聚焦系統，保證光刻過程的實時聚焦； 4、配備分辨率不低于1μm的攝像模組，保證優于500nm的套刻精度； *5、至少支持4096階的灰度光刻； 6、配備ECM灰度面型補償功能，保證灰度光刻工藝的穩定性； 7、配備高精度的光柵尺，定位分辨率不低于2nm，保證較好的光刻精度，CD均勻性優于50nm，邊緣粗糙度優于30nm，平臺運動直線度優于1u@150mm； 8、最大曝光面積不小于150mm*150mm 9、支持基板尺寸范圍至少包括5mm*5mm~160mm*160mm； 10、要求Z方向自動聚焦，支持襯底厚度至少在0~10mm； 11、項目管理軟件需支持在線畫圖(如各種類型光柵，透鏡等)； 12、支持數據格式須包括DXF,GDSII,BMP,TIFF。 *13、支持免繪圖模式曝光功能。 14.溫控防塵系統:要求溫度控制<±0.5℃,潔凈等級class100； 15、需要在中國要有售后服務網點和同類型設備的實驗中心提供技術支持。	/

3、投標人資格要求投標人應具備的資格或業績:3.1如果投標人所投的貨物不是投標人自己制造的需提授權書，制造商直接授權需提供制造商出具的有效授權書，非制造商直接授權的需提供制造商國內逐級代理商的有效授權書；3.2 投標人是響應招標、已在招標人或招標機構處領購招標文件并參加投標競爭的法人或其他組織。任何未在招標機構處領購招標文件的法人或其他組織均不得參加投標。3.3 除非另有規定，凡是來自中華人民共和國或是與中華人民共和國有正常貿易往來的國家或地區(以下簡稱“合格來源國/地區”)的法人或其他組織均可投標。3.4 與招標人存在利害關系可能影響招標公正性的法人或其他組織不得參加投標。3.5 接參與項目前期咨詢和招標文件編制的法人或其他組織不得參加書（附單位負責人和授權代表身份證）。3.13.法律、行政法規規定的其他條件。是否接受聯合體投標:不接受未領購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
未曾在中國電力招標采購網（www.dl-yggm.cn）上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據招標公告的相說明下載投標文件！

項目 聯系人：李楊  
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備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術服務費后，查看項目業主，招標公告，中標公示等，并下載資格預審范圍，資質要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內容為準，以招標業主的解答為準本。

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