甬江實驗室采購化學機械拋光機（金屬）等設備項目（重招）國際招標公告(2)

項目編號 : 0762-2441CBNB2001

公布日期 : 2024-01-22

受招標人委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2024年01月22日在 公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。

1. 招標條件

項目概況：甬江實驗室因發展需要，需采購化學機械拋光機（金屬）設備、等離子體增強化學氣相沉積設備、高深寬比磁控濺射設備各1套。

資金到位或資金來源落實情況：項目所需資金已經落實。

  項目已具備招標條件的說明：項目已具備招標條件。

2. 招標內容：

招標項目編號：0762-2441CBNB2001

招標項目名稱：甬江實驗室采購化學機械拋光機（金屬）等設備項目（重招）

項目實施

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2

等離子體增強化學氣相沉積設備

1套

借助微波或射頻使氣體電離，局部形成等離子體，在較低的溫度下沉積薄膜。用于沉積SiO₂、SiNx、SiON、P-doped SiO₂、Ge-doped SiO₂、BPSG、FSG等薄膜。

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3

高深寬比磁控濺射設備

1套

使用磁控濺射方式用于深硅刻蝕后的硅通孔孔壁沉積阻擋層（Ti或Ta）及電鍍種子層（Cu），防止金屬與Si相互擴散的同時作為后續電鍍孔內填充金屬的導電層。

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3. 投標人資格要求

3.1特定資格條件：

3.1.1投標人必須是投標產品的制造商或投標產品的制造商授權的代理商，如為代理商需提供制造商針對本項目的授權書；

3.2本項目不接受聯合體投標。

3.3未領購招標文件不可以參加投標。

4.

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來源：中國電力招標采購網?編輯：cbbiddin