1.1項目概況
青海黃河水電新能源分公司是一家電子級多晶硅生產(chǎn)企業(yè)，電子級多晶硅產(chǎn)能3300噸/年。現(xiàn)有電子級多晶硅產(chǎn)品已批量應(yīng)用至3-6英寸、8英寸半導(dǎo)體硅片制造領(lǐng)域，并通過12英寸半導(dǎo)體硅片實驗室測試和小批量供貨。本項目旨在現(xiàn)有電子級多晶硅生產(chǎn)線的基礎(chǔ)上，借助先進(jìn)的數(shù)值模擬軟件，對CVD還原爐開展熱場、流場穩(wěn)定性及硅棒致密性研究，主要包括對9對棒還原爐進(jìn)行三維建模，研究最佳的噴嘴分布、尺寸以及進(jìn)料配比和電流曲線，研究最穩(wěn)定的流場、熱場，提高還原過程CVD化學(xué)氣相沉積的均勻性和穩(wěn)定性，降低電子級多晶硅棒的米花比例，進(jìn)而提高硅棒致密度和可利用率，同時形成9對棒還原爐建模分析和工藝優(yōu)化技術(shù)方案。
1.2項目招標(biāo)范圍及要求
1.2.1招標(biāo)范圍
1.2.1.1青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司新能源分公司現(xiàn)有9對棒還原爐生產(chǎn)裝置基礎(chǔ)上，利用先進(jìn)的數(shù)值模擬軟件對還原爐內(nèi)熱場、流場穩(wěn)定性及硅棒致密性進(jìn)行建模分析，模擬項目主要包括9對棒還原爐內(nèi)氣體流動、輻射傳熱、傳導(dǎo)傳熱、對流傳熱、電流棒加熱以及對硅沉積的氣相和表面化學(xué)反應(yīng)等內(nèi)容，研究確定最佳的噴嘴分布、尺寸以及進(jìn)料配比和電流曲線，降低電子級多晶硅棒的雜質(zhì)含量及米花比例，提高硅棒致密度和可利用率，同時形成9對棒還原爐建模分析和工藝優(yōu)化技術(shù)方案。
1.2.1.2研究要求
1.2.1.2.1通過對9對棒還原爐內(nèi)噴嘴建模分析，在不改變還原爐結(jié)構(gòu)、爐內(nèi)噴嘴布置及電源系統(tǒng)等硬件條件的情況下，對噴嘴的孔徑、高度、結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化，開展?fàn)t內(nèi)流場、熱場模擬，使?fàn)t內(nèi)溫度和邊界層厚度不均勻性得到優(yōu)化。
1.2.1.2.2通過對9對棒還原爐內(nèi)進(jìn)料配比和電流曲線進(jìn)行分析，計算得出最適宜的工藝配方，提升硅棒沉積速率，提高沉積層致密度，降低電子級多晶硅棒的米花比例。
1.2.1.2.3提供項目實施階段的模擬軟件臨時許可使用權(quán)及相關(guān)培訓(xùn)技術(shù)服務(wù)。
1.2.2項目工期：
合同生效后3個月內(nèi)提交供買方審核的初版技術(shù)方案；買方審核并出具修改意見后，于7日內(nèi)提供最終版技術(shù)方案。
1.3資金來源
本項目利用自有資金建設(shè)，資金已落實。
1.4投標(biāo)人資格
1.4.1法人地位
投標(biāo)人必須是在中華人民共和國市場監(jiān)管部門注冊的，具有獨立法人和一般納稅人資格的多晶硅生長、單晶硅生長等專業(yè)領(lǐng)域定制化的模擬仿真軟件開發(fā)（或授權(quán)）項目合作和技術(shù)咨詢服務(wù)企業(yè)或代理商。
本項目不接受聯(lián)合體投標(biāo)，不允許轉(zhuǎn)讓及分包。
1.4.2商業(yè)信譽(yù)
投標(biāo)人應(yīng)具有良好的商業(yè)信譽(yù)。不存在被列為失信被執(zhí)行人的情形，具體認(rèn)定以信用中國網(wǎng)站檢索結(jié)果為準(zhǔn)。
1.5業(yè)績
投標(biāo)人在投標(biāo)基準(zhǔn)日期近五年內(nèi)，具有至少1項在多晶硅還原、硅單晶生長等專業(yè)領(lǐng)域技術(shù)服務(wù)業(yè)績（附合同復(fù)印件）。
1.6招標(biāo)文件的獲取
1.6.1招標(biāo)文件發(fā)售方式
本項目實行在線售賣招標(biāo)文件。凡有意參加投標(biāo)者，請于購買招標(biāo)文件時間內(nèi)進(jìn)入報名參與購買招標(biāo)文件，不接受現(xiàn)場購買。
1.6.2招標(biāo)文件發(fā)售時間
2024年2月23日至2024年2月29日。
