對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2024-10-08在公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:二類超晶格ICP刻蝕機，數量：1臺。資金到位或資金來源落實情況:資金已落實。項目已具備招標條件的說明:已具備招標條件。2、招標內容招標項目編號:0653-244053A11017招標項目名稱:昆明物理研究所二類超晶格ICP刻蝕機采購項目 項目實施地點:中國云南省招標產品列表(主要設備):

序號	產品名稱	數量	簡要技術規格	備注
1	二類超晶格ICP刻蝕機	1臺	用于紅外焦平面探測器芯片高深寬比、高均勻性、低損傷探測器芯片刻蝕工藝。感應耦合等離子體刻蝕機采用模塊化設計，整機包括工藝模塊、傳輸模塊和軟件控制模塊；晶片在工藝模塊內進行刻蝕，工藝時，在晶片上方產生等離子體，對晶片進行刻蝕；自動傳輸模塊裝有機械手，實現晶片在其和工藝模塊之間的傳輸；感應耦合等離子體刻蝕機具備智能化的軟件操作系統，實現單片晶圓的自動刻蝕工藝。	交貨期為合同生效后6個月內； 交付地點為用戶最終使用現場

3、投標人資格要求投標人應具備的資格或業績:（1）投標人為設備制造商或授權代理商。（2）若投標人為代理商或貿易公司，投標人應取得設備制造廠商對本次投標設備的正式授權書。設備制造廠商只能授權一家代理商或貿易公司參與本次投標。是否接受聯合體投標:不接受未領購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
未曾在中國電力招標采購網（dl-yggm.cn）上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據招標公告的相說明下載投標文件！

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