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介質層化學機械研磨(CMP)設備招標公告

   2024-11-27 中國電力招標采購網dlztb0
核心提示:您當前未登錄,“*”號內容請 登錄后查看。項目名稱:介質層化學機械研磨(CMP)設備*.

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項目名稱:介質層化學機械研磨(CMP)設備

*. 招標條件

*.* 資金到位或資金來源落實情況:已落實。

*. 招標內容

*.*設備主要功能:化學機械研磨CMP(Chemical Mechanical Polishing)是利用旋轉的拋光頭以一定的壓力將wafer壓在旋轉的拋光墊上,通過化學去膜和機械去膜的交替過程中實現全局平坦化,是集成電路制造中的常用工藝。利用CMP設備可以實現IC器件全局平坦化,實現更小的設計圖形,更多層的金屬互連,提高電路的可靠性、速度和良品率。為滿足以硅光產品為代表的特殊工藝要求,本次招標設備的研磨均勻性需高于常規*英寸* Zone研磨頭CMP設備的能力,同時對CMP膜厚管控有較高的要求,可根據膜厚反饋之Polish time實現自動平坦化process。

*.投標人資格要求

*.*本次招標不接參與項目前期咨詢和招標文件編制的法人或其他組織不得參加投標。

*.招標文件的領購

*.* 招標文件領購結束時間:****年 ** 月 *日

*.* 招標文件售價:***人民幣/套

*.
未曾在中國電力招標采購網(www.dl-yggm.cn)上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據招標公告的相說明下載投標文件!

項目 聯系人:李楊  
咨詢電話:010-51957458 
傳真:010-51957412 
手機:13683233285 
QQ:1211306049 
微信:Li13683233285 郵箱:1211306049@qq.com

備注:欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術服務費后,查看項目業主,招標公告,中標公示等,并下載資格預審范圍,資質要求,招標清單,報名申請表等。為保證您能夠順利投標,具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內容為準,以招標業主的解答為準本。

編輯:chinabidding.co

 
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