1. 招標條件

本招標項目等離子體去膠機 該項目已具備招標條件，現對等離子體去膠機進行國內公開招標。

2. 項目概況與招標范圍

2.1 招標編號：ZKX20250101A006

2.2招標項目名稱：等離子體去膠機。

2.3 數量：1臺。

2.4 項目概述：等離子體去膠機（高溫）應用于半導體生產工藝中的光刻膠去除工藝，通過RF將O2/N2等離子化，然后與光刻膠發生反應生成CO2和水氣達到去除光刻膠的效果。其去膠的均勻性、工藝溫度控制及去膠速率為關鍵參數。

2.5 交貨

2.6 交貨期：合同簽字生效后6個月內貨到用戶成都項目現場。

3. 投標人資格要求

3.1 投標人須為具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內注冊的法人或其他組織，具備有效的營業執照或事業單位法人證書或其它營業登記證書。

3.2提供制造商同類產品的業績證明，需在中國境內用戶1家及以上，2021年1月1日至今制造商同類產品銷售1臺及以上，提供可供查證的業績證明材料（需提供合同復印件的相關頁、合同簽訂時間頁或交貨時間頁或其它可以證明交貨時間的材料、簽字蓋章頁作為證明材料，以合同簽訂時間或交貨時間為準，合同內容需顯示制造商、用戶及產品信息，上述內容遮擋或無法清晰辨識的合同復印件不予認可）。

3.3本次招標不接受聯合體投標。

3.4本次招標接受代理商投標。若投標人為代理商，則需提供制造商針對本次投標設備出具的有效授權函，且同一品牌同一型號僅能委托一家投標單位參與投標。

3.5投標人必須向招標代理機構

4.

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編輯：365trade