1. 招標(biāo)條件

本招標(biāo)項目等離子體去膠機(jī) 該項目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對等離子體去膠機(jī)采購進(jìn)行國內(nèi)公開招標(biāo)。

2. 項目概況與招標(biāo)范圍

2.1 招標(biāo)編號：ZKX20240101A019

2.2招標(biāo)項目名稱：等離子體去膠機(jī)。

2.3 數(shù)量：1臺。

2.4 項目概述：等離子體去膠機(jī)（高溫）應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中的光刻膠去除工藝，通過RF將O2/N2等離子化，然后與光刻膠發(fā)生反應(yīng)生成CO2和水氣達(dá)到去除光刻膠的效果。其去膠的均勻性、工藝溫度控制及去膠速率為關(guān)鍵參數(shù)。

2.5 交貨

2.6 交貨期：合同生效后6個月內(nèi)（自然日，以下未作特別說明的天數(shù)均為自然日）內(nèi)完成設(shè)備的設(shè)計、生產(chǎn)、采購、組裝、調(diào)試等工作，貨到用戶成都項目現(xiàn)場。

3. 投標(biāo)人資格要求

3.1 投標(biāo)人須為具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。

3.2財務(wù)要求：投標(biāo)人提供2021-2023年經(jīng)審計的財務(wù)審計報告，至少應(yīng)包括審計報告正文（審計報告必須由會計師事務(wù)所蓋章、注冊會計師簽名和蓋章，未經(jīng)簽字蓋章的審計報告視為無效審計報告）、資產(chǎn)負(fù)債表、現(xiàn)金流量表、利潤表。成立年限不滿三年的公司提供成立至今財務(wù)審計報告，2024年新成立公司提供成立至今的財務(wù)報表。

3.3 提供制造商同類產(chǎn)品的業(yè)績證明，需在中國境內(nèi)用戶1家及以上，2021年1月1日至今制造商同類產(chǎn)品銷售1臺及以上，提供可供查證的業(yè)績證明材料（需提供合同復(fù)印件的相關(guān)頁、簽訂時間頁、簽字蓋章頁作為證明材料，以合同簽訂時間為準(zhǔn)，合同內(nèi)容需顯示制造商、用戶及產(chǎn)品信息，上述內(nèi)容遮擋或無法清晰辨識的合同復(fù)印件不予認(rèn)可）。

3.4投標(biāo)人須提供近三年無重大違規(guī)行為的承諾，格式自擬。

3.5本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

3.6 本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)。若投標(biāo)人為代理商，則需提供制造商針對本次投標(biāo)設(shè)備出具的有效授權(quán)函，且同一品牌同一型號僅能委托一家投標(biāo)單位參與投標(biāo)。

3.7投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)

4.

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