1 招標(biāo)條件
本招標(biāo)項(xiàng)目中國原子能科學(xué)研究院ICP工藝系統(tǒng)采購已審批，資金來源已落實(shí)。2 項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍
2.1 招標(biāo)編號(hào)
CNSC-21401Y0217292.2 招標(biāo)項(xiàng)目名稱
中國原子能科學(xué)研究院ICP工藝系統(tǒng)采購2.3 招標(biāo)項(xiàng)目概括
本項(xiàng)目對(duì)一套ICP刻蝕工藝系統(tǒng)進(jìn)行非標(biāo)研發(fā)，用于φ50~200mm尺寸規(guī)格的GaN、SiO2、SiNx材料晶圓的多功能刻蝕。2.4 招標(biāo)范圍
ICP刻蝕工藝系統(tǒng)一套，系統(tǒng)需采用模塊化設(shè)計(jì)，包括工藝模塊、傳輸模塊和軟件智能操控，可實(shí)現(xiàn)對(duì)腔室內(nèi)等離體密度的均勻控制，φ50~200mm尺寸規(guī)格的GaN、SiO2、SiNx材料晶圓的多功能刻蝕工藝要求。 交付成果包括：（1）ICP刻蝕工藝系統(tǒng)裝置實(shí)物；（2）相關(guān)技術(shù)文件、設(shè)計(jì)說明書、圖冊(cè)和報(bào)告等；（3）質(zhì)保資料：質(zhì)量計(jì)劃；出廠證明；合格證；裝箱單。2.5 交貨地點(diǎn)
北京市中國原子能科學(xué)研究院院內(nèi)指定位置。2.6 交貨期
（1）合同簽訂后15個(gè)工作日內(nèi)，提交系統(tǒng)設(shè)計(jì)圖冊(cè)及工藝開發(fā)方案。 （2）合同簽訂后90天內(nèi)，完成系統(tǒng)硬件和工藝流程的源地驗(yàn)收。 （3）合同簽訂后120天內(nèi)，完成系統(tǒng)現(xiàn)場(chǎng)安裝調(diào)試、合格鑒定及交付驗(yàn)收。2.7 質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)
質(zhì)保期： ICP刻蝕工藝系統(tǒng)的質(zhì)保期為自項(xiàng)目驗(yàn)收合格起2年； 質(zhì)保期內(nèi)廠商應(yīng)免費(fèi)保修，非人為因素引起的儀器損壞由廠商免費(fèi)負(fù)責(zé)維修；并終身提供技術(shù)服務(wù)。3 投標(biāo)人資格要求
3.1 本次招標(biāo)投標(biāo)人應(yīng)滿足以下要求：
（1）在中華人民共和國境內(nèi)擁有合法經(jīng)營權(quán)力，具有獨(dú)立的法人資格，符合國家有關(guān)規(guī)定，有資格和能力完成本招標(biāo)項(xiàng)目的相關(guān)人員、設(shè)備、財(cái)務(wù)、技術(shù)能力。 （2）投標(biāo)人應(yīng)遵守中華人民共和國法律、法規(guī)以及相關(guān)行業(yè)的規(guī)定。 （3）財(cái)務(wù)狀況：投標(biāo)人須有良好的銀行信用和商業(yè)信譽(yù)，不得處于破產(chǎn)、停業(yè)、財(cái)產(chǎn)被接收或凍結(jié)等任何不利于合同目的實(shí)現(xiàn)的情形，財(cái)務(wù)狀況良好。 （4）本項(xiàng)目不接受代理商投標(biāo)。 （5）近三年投標(biāo)人至少具有一個(gè)類似項(xiàng)目供貨業(yè)績，投標(biāo)時(shí)須提供業(yè)績證明材料并蓋公章。 （6）本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。3.2 本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)
4 招標(biāo)文件的獲取
4.1 招標(biāo)文件售價(jià)：本項(xiàng)目共1個(gè)包，招標(biāo)文件售價(jià)人民幣包1:中國原子能科學(xué)研究院ICP工藝系統(tǒng)采購售價(jià):500.00元整，售后款項(xiàng)不予退還。
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)收款 開戶 收款 未曾在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（www.dl-yggm.cn）上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先注冊(cè)。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說明下載招標(biāo)文件！項(xiàng)目 聯(lián)系人：李工
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來源：中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)?編輯：ecp.cnnc