招標(biāo)公告

1. 招標(biāo)條件

本招標(biāo)項(xiàng)目中束流離子注入機(jī) 該項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對(duì)中束流離子注入機(jī)進(jìn)行國(guó)內(nèi)公開(kāi)招標(biāo)。

2. 項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍

2.1 招標(biāo)編號(hào)：ZKX20250429A001

2.2 招標(biāo)項(xiàng)目名稱(chēng)：中束流離子注入機(jī)。

2.3 數(shù)量：1臺(tái)。

2.4 主要功能要求：本次購(gòu)買(mǎi)的中束流離子注入機(jī)用于晶圓摻雜工藝。其原理是通過(guò)先將所需雜質(zhì)電離，然后由電場(chǎng)引出，再通過(guò)磁場(chǎng)篩選，形成一個(gè)集中的離子束，最終注入到硅片中，達(dá)到摻雜目的。中束流離子注入機(jī)由氣源柜、離子源腔室、離子束腔室、工藝腔室、傳送模塊、操作控制模塊、廠務(wù)動(dòng)力模塊等模組組成。

2.5 交貨

3. 投標(biāo)人資格要求

3.1投標(biāo)人須為具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國(guó)境內(nèi)注冊(cè)的法人或其他組織，具備有效的營(yíng)業(yè)執(zhí)照。

3.2業(yè)績(jī)要求：投標(biāo)人需提供本次投標(biāo)同型號(hào)或同系列的中束流離子注入機(jī)設(shè)備從2022年至今累計(jì)銷(xiāo)售量至少5臺(tái)并驗(yàn)收合格的業(yè)績(jī)；須提供設(shè)備采購(gòu)合同復(fù)印件，其內(nèi)容須體現(xiàn)合同首頁(yè)及簽字或蓋章頁(yè)、合同簽訂時(shí)間、合同標(biāo)的物名稱(chēng)及其型號(hào)；同時(shí)提供驗(yàn)收合格的證明材料。

3.3 其它要求：本次招標(biāo)不接受代理商投標(biāo)。

3.4本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

3.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)

4.

未在中國(guó)電力招標(biāo)采購(gòu)網(wǎng)（www.dl-yggm.cn）上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先點(diǎn)擊注冊(cè)。登錄成功后的在招標(biāo)會(huì)員區(qū)根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說(shuō)明獲取招標(biāo)文件！
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編輯：365trade