對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2024-04-09在公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:甬江實驗室因發展需要，需采購涂膠顯影機1套。資金到位或資金來源落實情況:項目所需資金已經落實。項目已具備招標條件的說明:項目已具備招標條件。2、招標內容招標項目編號:0762-2441CBNB2008招標項目名稱:甬江實驗室采購涂膠顯影機項目（重招）項目實施地點:中國浙江省招標產品列表(主要設備):

序號	產品名稱	數量	簡要技術規格	備注
1	涂膠顯影機	1套	涂膠顯影機是光刻工序中與光刻機配套使用的涂膠、烘烤及顯影設備，其與KrF光刻機聯機搭配使用，支持分辨率≤110 nm且套刻精度≤15 nm的光刻工藝，同時，涂膠顯影機也可離線獨立作業，支持i-線（365 nm）光刻工藝。工藝過程包括晶圓的光刻膠涂覆、固化、顯影、堅膜等。

3、投標人資格要求投標人應具備的資格或業績:投標人應具備的資格或業績:投標人必須是投標產品的制造商或投標產品的制造商授權的代理商，如為代理商需提供制造商針對本項目的授權書；是否接受聯合體投標:不接受未領購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
未曾在中國電力招標采購網（dl-yggm.cn）上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據招標公告的相說明下載投標文件！

項目 聯系人：李楊  
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