招標公告

1. 招標條件

本招標項目二氧化硅淀積爐 該項目已具備招標條件，現(xiàn)對二氧化硅淀積爐進行國內(nèi)公開招標。

2. 項目概況與招標范圍

2.1 招標編號：ZKX20240429A046

2.2 招標項目名稱：二氧化硅淀積爐【重新招標】。

2.3 數(shù)量：1臺。

2.4 主要功能要求：本次購買的二氧化硅淀積爐常用于ONO結(jié)構(gòu)中的SiO2介質(zhì)層。其原理是在爐管內(nèi)高溫下（720℃-900℃），二氯硅烷(DCS)和笑氣(N2O)進行反應生成SiO2薄膜。必須是8寸全新支持SMIF功能及EAP通訊的國產(chǎn)設備

2.5 交貨

2.6 交貨期：合同生效后6個月。

3. 投標人資格要求

3.1投標人須為具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。

3.2設備業(yè)績要求：本次投標設備二氧化硅淀積爐須是八寸線的成熟設備，且具有成功應用案例，須提供至少一臺2020年1月1日至今本次投標設備的帶有技術協(xié)議或技術指標的銷售合同及驗收證明材料復印件，合同的內(nèi)容需體現(xiàn)合同首頁、設備名稱、規(guī)格型號、制造商名稱（必須是本次所投設備的制造商）、技術協(xié)議或主要技術指標、合同簽訂時間、甲乙雙方簽字或蓋章等內(nèi)容，還需提供業(yè)績設備是使用于八寸線的證明材料，以及采購方

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編輯：365trade