日    期：2024年 9 月 23 日

招標編號：0722-244FE2144  

項目名稱：VPD晶圓表面污染物分析儀（重新招標）

受重慶芯聯微電子 委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2024年 9 月 23 日發布招標公告。
本次招標采用國際公開招標方式。

1. 招標條件

1.1 項目概況：VPD晶圓表面污染物分析儀1臺，全新。

1.2 資金到位或資金來源落實情況:已落實。

1.3 項目已具備招標條件的說明：已具備。

2. 招標內容

2.1交貨

比較常見的偵測技術手段是首先通過VPD (晶圓級氣相分解儀）的方式收集晶圓表面的超微量雜質，再結合ICP-MS（等離子質譜儀）進行金屬痕量分析。
此種組合方法的檢出限可以低至 107 原子/厘米2（ppt 級別）。

2.3 交貨時間：合同生效后240天。

3. 投標人資格要求

3.1 投標人具有獨立法人資格，提供有效的營業登記等許可經營的證明文件。

3.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供制造商授權書。

3.3 投標人或投標貨物的制造商須具備在近三年（2022年1月1日至今）向5家以上中國大陸12英寸集成電路制造企業提供離線式VPD設備，且在先進制程節點供貨和安裝調試不低于5臺實績；（需提供業績合同復印件或驗收證明復印件或制造商出具的所投標產品的客戶銷售清單并加蓋制造商公章作為證明材料）。

3.4本次招標不接受聯合體投標。

3.5投標人必須向招標代理機構

4.
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編輯：mofcom