招標公告

全反射X射線熒光光譜儀（TXRF）項目已具備招標條件。資金來源為100%國撥資金。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構）受中國電子科技集團公司第四十四研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

1. 招標范圍

1.1 貨物名稱：全反射X射線熒光光譜儀（TXRF）

1.2 招標編號：0779-24400424A022

1.3 主要功能要求：主要用于輔助實現晶圓生產、加工工藝過程質量監控，也可用于工藝設備的金屬沾污分析。該設備激發產生的X射線以很低的角度（如0.05°）入射到晶圓表面，激發出熒光，對熒光進行能譜分析及強度計算，從而分析出晶圓表面各元素的沾污量。須具備廣泛的元素分析范圍，元素分析范圍包含11Na~99U中的部分堿金屬元素、過渡金屬元素和重金屬元素，至少包含對鈉、鋁、鉀、鈣、鈦、鉻、鐵、鎳、銅、鋅、銀、鎘、鎢、鉑、金、汞、鉛元素的檢測能力。

1.4 數量：1臺。

1.5 交貨期：合同生效后10個月內。

1.6 項目現場：重慶市沙坪壩區西永大道23號中國電子科技集團公司第四十四研究所。

2. 對投標人的資格要求

2.1投標人必須是響應招標的法人或其他組織，具有獨立承擔民事責任能力。

2.2本次招標接受代理商投標，投標人如果為代理商，必須獲得制造商的合法授權，提供授權書。

2.3本次招標不接受聯合體投標。

2.4投標人必須向招標代理機構

3. 招標

4.

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編輯：365trade