1. 招標(biāo)條件

本招標(biāo)項(xiàng)目等離子體去膠機(jī) 該項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對等離子體去膠機(jī)進(jìn)行國內(nèi)公開招標(biāo)。

2. 項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍

2.1 招標(biāo)編號：ZKX20250101A006

2.2招標(biāo)項(xiàng)目名稱：等離子體去膠機(jī)。

2.3 數(shù)量：1臺。

2.4 項(xiàng)目概述：等離子體去膠機(jī)（高溫）應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中的光刻膠去除工藝，通過RF將O2/N2等離子化，然后與光刻膠發(fā)生反應(yīng)生成CO2和水氣達(dá)到去除光刻膠的效果。其去膠的均勻性、工藝溫度控制及去膠速率為關(guān)鍵參數(shù)。

2.5 交貨

2.6 交貨期：合同簽字生效后6個月內(nèi)貨到用戶成都項(xiàng)目現(xiàn)場。

3. 投標(biāo)人資格要求

3.1 投標(biāo)人須為具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。

3.2提供制造商同類產(chǎn)品的業(yè)績證明，需在中國境內(nèi)用戶1家及以上，2021年1月1日至今制造商同類產(chǎn)品銷售1臺及以上，提供可供查證的業(yè)績證明材料（需提供合同復(fù)印件的相關(guān)頁、合同簽訂時(shí)間頁或交貨時(shí)間頁或其它可以證明交貨時(shí)間的材料、簽字蓋章頁作為證明材料，以合同簽訂時(shí)間或交貨時(shí)間為準(zhǔn)，合同內(nèi)容需顯示制造商、用戶及產(chǎn)品信息，上述內(nèi)容遮擋或無法清晰辨識的合同復(fù)印件不予認(rèn)可）。

3.3本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

3.4本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)。若投標(biāo)人為代理商，則需提供制造商針對本次投標(biāo)設(shè)備出具的有效授權(quán)函，且同一品牌同一型號僅能委托一家投標(biāo)單位參與投標(biāo)。

3.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)

4.

未在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（dl-yggm.cn）上注冊會員的單位應(yīng)先點(diǎn)擊注冊。登錄成功后的在招標(biāo)會員區(qū)根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說明獲取招標(biāo)文件！
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