一、項目信息

采購人：廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所

項目名稱：廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所多功能電子束仿真軟件升級采購項目

擬采購的貨物或者服務(wù)的說明：

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所（以下簡稱“采購人”）于2024年已通過國內(nèi)公開招標(biāo)的采購方式，向國內(nèi)潛在供應(yīng)商發(fā)出投標(biāo)邀請，但最終未有三家投標(biāo)人應(yīng)標(biāo)。團隊最終通過國內(nèi)公開招標(biāo)轉(zhuǎn)單一來源談判的采購方式向英國Munro’s Electron Beam Software Ltd.（以下簡稱“Munro公司”）在中國境內(nèi)唯一的授權(quán)銷售總代理廣州航賽進(jìn)出口有限公司購置了多功能電子束仿真軟件（Munro’s Electron Beam Software，以下簡稱MEBS軟件）的17個模塊。采購人通過采購MEBS軟件顯著提升了科研條件和研發(fā)能力。現(xiàn)因“電子束關(guān)鍵尺寸量測顯微鏡（CD SEM）”項目需求，采購人需在已實施采購的MEBS軟件17個模塊的基礎(chǔ)上新增WIEN和WIEN-REFINE模塊（以及原有已采購軟件中的9個模塊授權(quán)使用），用于電子束光刻機及電子束關(guān)鍵尺寸量測顯微鏡設(shè)備的研制。新增模塊的主要技術(shù)參數(shù)須滿足以下條件：

（一）仿真電子運動軌跡精度：5nm；

（二）實現(xiàn)信號電子的偏轉(zhuǎn)功能；

（三）實現(xiàn)三級像差計算分析。

此外，為滿足采購人軟件使用人數(shù)增加的需求，計劃在已實施采購的17個模塊的基礎(chǔ)上新增1個用戶權(quán)限（即新增1個USB加密狗），以進(jìn)一步提升電子束光刻機、電子束量測顯微鏡等高端電子束裝備的設(shè)計服務(wù)能力。

擬采購的貨物或服務(wù)的預(yù)算金額（元）：353,932.00

采用單一來源采購方式的原因及說明：

（一）原因

根據(jù)《廣東省財政廳關(guān)于規(guī)范省級單一來源采購方式審批和進(jìn)口產(chǎn)品核準(zhǔn)管理有關(guān)事項的通知》第一條的規(guī)定，本項目屬于以下規(guī)定的第(1)種情形:

1.因貨物或者服務(wù)使用不可替代的專利、專有技術(shù)，導(dǎo)致只能從某一特定供應(yīng)商處采購的；

2.公共服務(wù)項目具有特殊要求，只能從某一特定供應(yīng)商處采購的；

3.發(fā)生了不可預(yù)見的緊急情況不能從其他供應(yīng)商處采購的；

4.必須保證原有采購項目一致性或者服務(wù)配套的要求，需要繼續(xù)從原供應(yīng)商處添購，且添購資金總額不超過原合同采購金額百分之十的；

5.公開招標(biāo)數(shù)額標(biāo)準(zhǔn)以上的采購項目，投標(biāo)（報價）截止后投標(biāo)（報價）人僅有1家或者通過資格審查或符合性審查的投標(biāo)（報價）人僅有1家的，經(jīng)專家論證，采購文件沒有不合理條款、采購程序符合規(guī)定的。

（二）說明

1.采購人熱管理團隊的主要研究方向為電子束技術(shù)及相關(guān)裝備的研制。團隊于2024年購置了MEBS軟件中的17個模塊，具體清單如下表所示：

目前，該軟件仍處于正常運行狀態(tài)，能夠滿足采購人對電子槍設(shè)計、靜電和磁透鏡設(shè)計、動態(tài)校正元件設(shè)計以及電子光學(xué)柱優(yōu)化設(shè)計的需求。然而，采購人現(xiàn)有軟件模塊不具備電子束維恩濾波器設(shè)計的功能，因此需要在原基礎(chǔ)上新增WIEN和WIEN-REFINE模塊（以及原有已采購軟件中的9個模塊授權(quán)使用）以滿足采購人的研制需求。WIEN模塊主要用于維恩濾波器主光路的仿真設(shè)計，WIEN-REFINE模塊主要用于維恩濾波器電子光路的自動迭代優(yōu)化。新增模塊在電子運動軌跡仿真精度方面達(dá)到5 nm，能夠?qū)崿F(xiàn)信號電子的偏轉(zhuǎn)功能，支持包含圓透鏡、多極透鏡和維恩濾波器在內(nèi)的電子束光柱體設(shè)計，并具備三級像差計算分析能力。這些功能將有力支撐電子束光刻機及電子束關(guān)鍵尺寸量測顯微鏡（CD SEM）設(shè)備的研制，可滿足采購人團隊的研究需求。此外，隨著采購人團隊的發(fā)展壯大，現(xiàn)有軟件的使用人數(shù)不斷增加，因此還需要在現(xiàn)有已實施采購的17個模塊基礎(chǔ)上新增1個USB加密狗，以滿足采購人更多研究人員的使用需求。

2.MEBS軟件是唯一由英國Munro公司研發(fā)的電子束技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)廣泛認(rèn)可的商業(yè)化設(shè)計軟件。該軟件采用二階有限元方法，具有高精度特點，能夠滿足電子光學(xué)部件的電磁場計算、像差分析、軌跡追蹤、電子光柱體系統(tǒng)設(shè)計和電子束維恩濾波器設(shè)計等多方面需求。目前，MEBS軟件在國內(nèi)市場競爭性較低，屬于高度壟斷產(chǎn)品，且暫無相關(guān)國產(chǎn)化替代軟件能符合采購人目前的科研需求。由于MEBS軟件是唯一由Munro公司研發(fā)設(shè)計的，Munro公司在中國地區(qū)目前只唯一授權(quán)了廣州航賽進(jìn)出口有限公司作為銷售總代理，其擁有自主知識產(chǎn)權(quán)和相關(guān)技術(shù)，其他公司或機構(gòu)無法提供該技術(shù)指標(biāo)的同類軟件升級服務(wù)。

綜上所述，采購人因需在現(xiàn)有MEBS軟件17個模塊的基礎(chǔ)上新增WIEN和WIEN-REFINE模塊以及新增一個USB加密狗以滿足更多使用人數(shù)需求，而MEBS軟件由Munro公司獨家研發(fā)設(shè)計，其擁有自主知識產(chǎn)權(quán)和相關(guān)技術(shù)，軟件功能新增、版本升級等技術(shù)服務(wù)均只有原廠能夠提供。同時，Munro公司在中國地區(qū)唯一授權(quán)了廣州航賽進(jìn)出口有限公司作為銷售總代理。符合《中華人民共和國政府采購法》單一來源適用情況中“只能從唯一供應(yīng)商處采購的”的情形及《廣東省財政廳關(guān)于規(guī)范省級單一來源采購方式審批和進(jìn)口產(chǎn)品核準(zhǔn)管理有關(guān)事項的通知》“因貨物或者服務(wù)使用不可替代的專利、專有技術(shù)，導(dǎo)致只能從某一特定供應(yīng)商處采購的”的情形。基于上述原因，現(xiàn)擬采用單一來源采購方式向Munro公司在中國境內(nèi)唯一授權(quán)的銷售總代理廣州航賽進(jìn)出口有限公司進(jìn)行采購。

二、擬定供應(yīng)商信息：

名稱：廣州航賽進(jìn)出口有限公司

地址：廣州市天河區(qū)粵墾路68號801房（部位：801-5室）（僅限辦公）

三、公示期限

2025年2月20日至2025年2月27日

四、其他補充事宜

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五、聯(lián)系方式

1.采購人

聯(lián)系人： 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所

聯(lián)系地址：廣州市天河區(qū)長興路363號

聯(lián)系電話：馮先生 020-87716075-8023

2.采購代理機構(gòu)

聯(lián)系人：溫先生、蘇先生

聯(lián)系地址：廣州市先烈中路100號科學(xué)院大院9號樓東座2樓

聯(lián)系電話：020-37674721、020-87687651

發(fā)布人：廣州市國科招標(biāo)代理有限公司

發(fā)布時間：2025年2月20日