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招標(biāo)項目編號：0729-254OIT301685
項目名稱：中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所低溫超深寬比反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)采購項目
項目名稱（英文）：Low temperature ultra aspect ratio reactive ion etching system procurement project of Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences
招標(biāo)機構(gòu)：東方國際
招標(biāo)方式：公開招標(biāo)
招標(biāo)結(jié)果：重新招標(biāo)
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