對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2023-12-04在 公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。1、招標(biāo)條件項(xiàng)目概況:上海交通大學(xué)擬采購(gòu)1套電子束光刻系統(tǒng)，電子束光刻機(jī)可以用于電子束光刻工藝并用于制備納米結(jié)構(gòu)器件。資金到位或資金來(lái)源落實(shí)情況:已落實(shí)項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說(shuō)明:已具備2、招標(biāo)內(nèi)容招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào):0773-2341SHHW0112招標(biāo)項(xiàng)目名稱:上海交通大學(xué)電子束光刻系統(tǒng)項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國(guó)上海市招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):

序號(hào)	產(chǎn)品名稱	數(shù)量	簡(jiǎn)要技術(shù)規(guī)格	備注
1	電子束光刻系統(tǒng)	1套	*2.1.6 配備激光干涉工作臺(tái)，XY方向運(yùn)動(dòng)行程不小于150 mm×150 mm。激光干涉儀測(cè)量分辨率不大于1nm。*2.1.6 LIS is included in the system. XY: no less than 150 mm×150 mm. Laser interferometer measurement resolution: no larger than 1nm.其余詳見(jiàn)招標(biāo)文件。	預(yù)算金額：人民幣1000.00萬(wàn)元。 最高限價(jià)：人民幣1000.00萬(wàn)元。 交貨期：簽訂合同后12個(gè)月內(nèi) 交付 郵件主題包含：投標(biāo)人名稱+項(xiàng)目編號(hào)+項(xiàng)目名稱，郵件附件包含：網(wǎng)上轉(zhuǎn)賬憑證。發(fā) 5、投標(biāo)文件的遞交投標(biāo)截止時(shí)間（開(kāi)標(biāo)時(shí)間）:2023-12-26 10:30投標(biāo)文件 評(píng)標(biāo)結(jié)果將在必聯(lián)網(wǎng)和 公示。7、聯(lián)系方式招標(biāo)人:上海交通大學(xué)地址:上海市閔行區(qū)東川路800號(hào)

未曾在中國(guó)電力招標(biāo)采購(gòu)網(wǎng)（dl-yggm.cn）上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先注冊(cè)。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說(shuō)明下載投標(biāo)文件！

項(xiàng)目 聯(lián)系人：李楊  
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