中航技國際經貿發展 對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2023-12-28在 公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:等離子體氣相沉積設備(舊機） 1臺資金到位或資金來源落實情況:已落實項目已具備招標條件的說明:已具備 2、招標內容招標項目編號:0730-234011020148/06招標項目名稱:等離子體氣相沉積設備(舊機）項目實施地點:中國上海市招標產品列表(主要設備):

序號	產品名稱	數量	簡要技術規格	備注
1	等離子體氣相沉積設備(舊機）	1臺	(1)PECVD—等離子體化學氣相沉積的主要原理是借助射頻使化學反應氣體在工藝腔內解離，在局部形成等離子體。 (2)在SiNx3000 ？ /a-Si 2000 ？ /n+a-Si 500？膜層厚度條件下： 產能: ≥20片/小時 (PECVD-三層膜) 或同目前量產腔體 (3)在SiNx5000 ？膜層厚度條件下：產能: ≥ 25片/小時 (PECVD-一層膜) 或同目前量產腔體	0730-234011020148/06

3、投標人資格要求投標人應具備的資格或業績:（1）制造商應具有制造同類設備的經驗，有銷售業績。制造商在中國有代理或維修機構能對產品提供長期維修服務保障。投標方推薦的設備應成熟可靠，2005年1月至今必須有同類型設備（新機或舊機）5 臺以上銷售記錄，用戶反映效果良好（投標人需要提供業績資料） 。（2）一旦中標，投標人必須是與招標人簽訂本項目合同的簽約方。如投標人不具備與招標人簽訂合同的能力，其投標將被否決。（說明：招標中必須誰投標、誰中標、誰簽合同，不能甲投標，乙簽合同。）是否接受聯合體投標:不接受未領購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
未曾在中國電力招標采購網（dl-yggm.cn）上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據招標公告的相說明下載投標文件！

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