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| 甬江實驗室采購化學機械拋光機（金屬）等設備項目（重招）國際招標公告(*) |
| 公告次數：* |
| 發布日期：****-**-** |
對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于****年**月**日在公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。
*. 招標條件
項目概況：甬江實驗室因發展需要，需采購化學機械拋光機（金屬）設備、等離子體增強化學氣相沉積設備、高深寬比磁控濺射設備各*套。
資金到位或資金來源落實情況：項目所需資金已經落實。
項目已具備招標條件的說明：項目已具備招標條件。
*. 招標內容：
招標項目編號：****-****CBNB****
招標項目名稱：甬江實驗室采購化學機械拋光機（金屬）等設備項目（重招）
項目實施
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等離子體增強化學氣相沉積設備
*套
借助微波或射頻使氣體電離，局部形成等離子體，在較低的溫度下沉積薄膜。用于沉積SiO * 、SiNx、SiON、P-doped SiO * 、Ge-doped SiO * 、BPSG、FSG等薄膜。
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*
高深寬比磁控濺射設備
*套
使用磁控濺射方式用于深硅刻蝕后的硅通孔孔壁沉積阻擋層（Ti或Ta）及電鍍種子層（Cu），防止金屬與Si相互擴散的同時作為后續電鍍孔內填充金屬的導電層。
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*. 投標人資格要求
*.*特定資格條件：
*.*.*投標人必須是投標產品的制造商或投標產品的制造商授權的代理商，如為代理商需提供制造商針對本項目的授權書；
*.*本項目不接受聯合體投標。
*.*未領購招標文件不可以參加投標。
*.
未曾在中國電力招標采購網（dl-yggm.cn）上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據招標公告的相說明下載投標文件！
項目 聯系人：李楊
咨詢電話：010-51957458
傳真：010-51957412
手機：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 郵箱：[email protected]
備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術服務費后，查看項目業主，招標公告，中標公示等，并下載資格預審范圍，資質要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內容為準，以招標業主的解答為準本。
