招標公告

1. 招標條件

本招標項目側墻刻蝕機 該項目已具備招標條件，現對側墻刻蝕機進行國內公開招標。

2. 項目概況與招標范圍

2.1 招標編號：ZKX20240429A049

2.2 招標項目名稱：側墻刻蝕機。

2.3 數量：1臺。

2.4 主要功能要求：半導體制造工藝中，側墻刻蝕是形成LDD結構必不可少的一個環節。側墻結構一般為OX或者OX與SiN的復合膜結構，為介質刻蝕工藝，側墻刻蝕機除了完成側墻刻蝕工藝以外，還可以用來進行通孔刻蝕，是半導體制造中必不可少的工序。本項目采購的側墻刻蝕機為8英寸全新國產設備、具備擴展SMIF和EAP通訊功能。

2.5 交貨

3. 投標人資格要求

3.1投標人須為具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內注冊的法人或其他組織，具備有效的營業執照。

3.2業績要求：投標人需提供本次投標同型號或同系列的設備從2020年至今的任意一年的銷售業績，且一年中累計銷售量至少5臺；須提供設備采購合同復印件，其內容須體現合同首頁及簽字或蓋章頁、合同簽訂時間、合同標的物及其型號。

3.3 其它要求：本次招標不接受代理商投標。

3.4本次招標不接受聯合體投標。

3.5投標人必須向招標代理機構

4.

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編輯：365trade